大发3d的应用范围

点击次数:   更新时间:19/12/31 11:32:12     来源:laueredit.com关闭分    享:
  大发3d的形式有多种,比如双圆裂片式、三叶圆裂片式、外部压缩型螺杆式、内部压缩型螺杆式等,不同形式的产品拥有各自的使用性能和优势,因此它的应用范围也是比较广泛的。主要有以下几个方面:
  1)低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中;
  2)半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒;
  3)除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,则用一定型式的大发3d可以满足要求;
  4)在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等,要防止有机溶剂造成污染,适合用大发3d;
  5)用做一般无油清洁真空系统的前级泵,以防止油污染。
  干式螺杆泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉尘的气体场合,极限真空更高,消耗功率更低,具有节能,免维修等优点。它是传统真空泵的更新换代产品,用作一般无油清洁真空系统的前级泵,以防止油污染。